1、深孔內及部品空氣能被吸出，清洗液能容易流入，清洗能力大幅提高。
2、清洗液中的氣體被脫出后，超聲波效果更好。                         
3、清洗液可以被加熱到引火點以上，對污垢的溶解力倍增。                         
4、在清洗中利用高溫液體給清洗部品提供均一、必要的熱量為后面干燥工序。                         
5、在真空中溶液沸點下降蒸發速度加快，因迅速形成高真空，覆著在物體上的溶劑一舉揮發。